机器人:近来 暂无脑机接口相关产品

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  机器人7月17日在互动平台表示 ,公司近来 暂无脑机接口相关产品 。在半导体装备业务领域产品包括 EFEM 、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等,主要应用于刻蚀、薄膜 、离子注入等工艺环节及领域。

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(文章来源:界面新闻)

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